JEM-9320FIB

Haz de Iones Enfocados

Fuente de iones de Galio líquido
Voltaje de aceleración: 5 a 30 kV (en pasos de 5 kV)
Resolución de Imagen: 6 nm (30 kV)
Corriente máxima de haz: 30 nA
Nanomanipulador Omniprobe 200